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Mesure sans contact



Notre système de mesure permet d’effectuer des mesures avec une résolution sub-nanométrique.
La gamme de produits comprend des mesures de distance et d’angle par interférométrie (Michelson avec un, deux ou trois faisceaux) et, avec la même technologie, des mesures de vibrations (Vibromètre).Des grandeurs comme la force ou la pression peuvent également être mesurées avec un montage adéquat.
Ces appareils sont basés sur une miniaturisation d’interféromètres laser, qui utilisent un laser HeNe couplé par fibres optiques comme source de lumière. Grâce à la haute stabilisation en fréquence et la correction de la longueur d’onde par les paramètres de l’environnement (température, pression de l’air et humidité relative) des résultats de mesure très précis peuvent être obtenus. Il est toutefois à remarquer que de hautes exigences de qualité du laboratoire de mesure sont  nécessaires dans le domaine du nm.
Le modèle NNM-1 est une machine de mesure avec une résolution de 0.1nm dans un volume de 25 x 25 x 5 mm ! Les 3 axes sont contrôlés et mesurés par des interféromètres intégrés.
Pour une fermer une boucle de mesure, nous proposons des capteurs capacitifs à nos clients OEM, pour des courses jusqu’à quelques 100µm. Ceux-ci sont également intégrés dans les systèmes de nano-positionnement de PI.






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